微波等离子设备

详细说明

一、装备介绍

  微波等离子体设备是在常压或低真空情况下，通过微波等离子发生器对反应腔内工艺气体，施加微波电磁能量，使气体产生等离子体，对气体进行热解和高度电离，同时特殊气体经过等离子电离后，利用等离子的特性，作用于产品表面，提高表面活性，增加附着性能的目的。微波等离子体设备操作简单、安全可靠、自动化程度较高。

二、特点

1、一定条件下，能使尾气高度电离和离解，设备安全可靠；

2、等离子设备气压范围内较宽，可获得气体的等离子化；

3、无内部电极，消除气体污染和电极腐蚀；

4、气体微波等离子体化产生不带高压，微波辐射易防护；

5、设备自动点火，操作简单、安全可靠；

6、气体参数变化范围较大，为广泛应用提供可能性。

三、应用

1、微波等离子火炬技术，应用于工业尾气的处理，及材料高温烧结；

2、微波等离子体化学气相沉积（MPECVD）:制备单晶、多晶金刚石，制备SiC、宝石、切削刀具等；

四、技术参数

	WPT3S	WPT15S	WPT25L
输入电源	三相380V±5% 50HZ	三相380V±5% 50HZ	三相380V±5% 50HZ
额定功率	5kVA	23kVA	32kVA
微波功率	3kW	15kW	25kW
微波频率	2450MHz	2450MHz	915MHz
外形尺寸（m）	0.8×0.9×1.1	1×1.2×1.5	2×1×1.5
微波输出功率	1kW~3kW	2kW~15kW	3kW~25kW
反射功率	≤0.2kW	≤0.2kW	≤0.2kW
火炬长度	≥200mm	≥200mm	≥200mm
外焰温度	≥800℃	≥800℃	≥800℃
气体压力	0.3MPa~0.7MPa	0.3MPa~0.7MPa	0.3MPa~0.7MPa
气体流量	5L/min~100L/min	5L/min~100L/min	5L/min~100L/min
微波泄露	≤5mw/cm2

五、设备图片

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微波等离子设备

等离子火炬